Alfa Laval - Príprava substrátových diskov

Príprava substrátových diskov

Substrátový disk je v elektronickom priemysle tenký plátok polovodičového materiálu, napríklad kryštál kremíka, ktorý sa používa na výrobu integrovaných obvodov a ďalších mikrozariadenie. Pri rezaní kremíkových ingotov na substrátovej disky lanovými pílami sa musí chladiť rezný kal. Spoločnosť Alfa Laval ponúka kompaktné a spoľahlivé riešenia s vysoko účinným prenosom tepla.

Slurry recovery 640x360

Substrátový disk sa používa ako substrát pre pripojenie mikroelektronických zariadení a prechádza mnohými fázami mikroskopického spracovania, ako sú dotovanie alebo implantácie iónov, leptanie, nanášanie rôznych materiálov a Fotolitografické štruktúrovanie. Nakoniec sa jednotlivé mikrobvody oddelí a zabalí.

Ako vhodné riešenia z radu výmenníkov tepla Alfa Laval pripadajú do úvahy rozoberateľné doskové výmenníky tepla, celonerezové výmenníky tepla AlfaNova a spájkované doskové výmenníky tepla. Vo všetkých prípadoch ide o kompaktné a spoľahlivé riešenia s vysokou účinnosťou pri prenose tepla.